Comparison of novel cleaning solutions with various chelating agents for post-CMP cleaning on poly-si film | PERPUSTAKAAN UNIVERSITAS KATOLIK PARAHYANGAN

Pencarian berdasarkan :

Pencarian terakhir:

Text

Comparison of novel cleaning solutions with various chelating agents for post-CMP cleaning on poly-si film

Tung, Ming Pan - Nama Orang;

Tidak Tersedia Deskripsi

Barcode		Tipe Koleksi	Nomor Panggil	Lokasi	Status
art11039	null	Artikel		Gdg9-Lt3	Tersedia namun tidak untuk dipinjamkan - No Loan

Judul Seri: IEEE Transactions on semiconductor manufacturing;Vol.14 No.4 November 2001
No. Panggil: -
Penerbit: : .,
Deskripsi Fisik: p.365-371
Bahasa: English
ISBN/ISSN: -
Klasifikasi: -
Tipe Isi: -
Tipe Media: -
Tipe Pembawa: -
Edisi: -
Subjek: -
Info Detail Spesifik: -
Pernyataan Tanggungjawab: Tung Ming Pan [et.al]

Tidak tersedia versi lain

Tidak Ada Data