Gaya APA
Munisa, Lusitra, Saleh, Rosari. ().
Pengaruh peningkatan flow rate gas metan terhadap sifat optis lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering .
:
.
Gaya Chicago
Munisa, Lusitra, Saleh, Rosari.
Pengaruh peningkatan flow rate gas metan terhadap sifat optis lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering.
:
,
.
Text.
Gaya MLA
Munisa, Lusitra, Saleh, Rosari.
Pengaruh peningkatan flow rate gas metan terhadap sifat optis lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering.
:
,
.
Text.
Gaya Turabian
Munisa, Lusitra, Saleh, Rosari.
Pengaruh peningkatan flow rate gas metan terhadap sifat optis lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering.
:
,
.
Print.