Gaya APA

Saleh, Rosari, Munisa, Lusitra, Marianty, Dewi. (). Pengaruh anil termal terhadap besaran optis lapisan tipis a-SiC:H hasil metode DC sputtering I. target silikon . : .

Gaya Chicago

Saleh, Rosari, Munisa, Lusitra, Marianty, Dewi. Pengaruh anil termal terhadap besaran optis lapisan tipis a-SiC:H hasil metode DC sputtering I. target silikon. : , . Text.

Gaya MLA

Saleh, Rosari, Munisa, Lusitra, Marianty, Dewi. Pengaruh anil termal terhadap besaran optis lapisan tipis a-SiC:H hasil metode DC sputtering I. target silikon. : , . Text.

Gaya Turabian

Saleh, Rosari, Munisa, Lusitra, Marianty, Dewi. Pengaruh anil termal terhadap besaran optis lapisan tipis a-SiC:H hasil metode DC sputtering I. target silikon. : , . Print.