Detection of Sub-Design Rule Physical Defects Using E-Beam Inspection | PERPUSTAKAAN UNIVERSITAS KATOLIK PARAHYANGAN

Pencarian berdasarkan :

Pencarian terakhir:

Text

Detection of Sub-Design Rule Physical Defects Using E-Beam Inspection

Patterson, Oliver D. - Nama Orang; Tang, Xiaohu - Nama Orang; Lee, Julie - Nama Orang; Salvador, Dave M. - Nama Orang; Lei, Shuen-Cheng Chris - Nama Orang;

Tidak Tersedia Deskripsi

Ketersediaan

Barcode		Tipe Koleksi	Nomor Panggil	Lokasi	Status
art87983	null	Artikel		Gdg9-Lt3	Tersedia namun tidak untuk dipinjamkan - No Loan

Informasi Detail

Judul Seri: IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING; Vol.26 No.4 November 2013
No. Panggil: -
Penerbit: : .,
Deskripsi Fisik: p.476-481
Bahasa: English
ISBN/ISSN: -
Klasifikasi: -
Tipe Isi: -
Tipe Media: -
Tipe Pembawa: -
Edisi: -
Subjek: -
Info Detail Spesifik: -
Pernyataan Tanggungjawab: Oliver D. Patterson, Julie Lee, Dave M. Salvador, Shuen-Cheng Chris Lei, Xiaohu Tang

Versi lain/terkait

Tidak tersedia versi lain

Lampiran Berkas

Tidak Ada Data

Komentar

Anda harus masuk sebelum memberikan komentar