Observation and Elimination of Recoil Particles from Turbo Molecular Pumps | PERPUSTAKAAN UNIVERSITAS KATOLIK PARAHYANGAN

Text

Observation and Elimination of Recoil Particles from Turbo Molecular Pumps

Moriya, Tsuyoshi - Nama Orang; Sugawara, Eiichi - Nama Orang; Matsui, Hidefumi - Nama Orang;

Tidak Tersedia Deskripsi

Ketersediaan

Barcode		Tipe Koleksi	Nomor Panggil	Lokasi	Status
art102784	null	Artikel		Gdg9-Lt3	Tersedia namun tidak untuk dipinjamkan - No Loan

Informasi Detail

Judul Seri: IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING; Vol.28 No.3 August 2015
No. Panggil: -
Penerbit: : .,
Deskripsi Fisik: p. 253-259
Bahasa: English
ISBN/ISSN: -
Klasifikasi: -
Tipe Isi: -
Tipe Media: -
Tipe Pembawa: -
Edisi: -
Subjek: PLASMA APPLICATIONS
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE
VACUUM TECHNOLOGY
PARTICLE MEASUREMENTS
Info Detail Spesifik: -
Pernyataan Tanggungjawab: Tsuyoshi Moriya, Eiichi Sugawara, Hidefumi Matsui

Versi lain/terkait

Tidak tersedia versi lain

Lampiran Berkas

Tidak Ada Data

Komentar

Anda harus masuk sebelum memberikan komentar