Dual-Frequency Megasonic Waveguide for Nano-Pattern Cleaning | PERPUSTAKAAN UNIVERSITAS KATOLIK PARAHYANGAN

Pencarian berdasarkan :

Pencarian terakhir:

Text

Dual-Frequency Megasonic Waveguide for Nano-Pattern Cleaning

Kim, Hyunse - Nama Orang; Lee, Yanglae - Nama Orang; Lim, Euisu - Nama Orang;

Tidak Tersedia Deskripsi

Barcode		Tipe Koleksi	Nomor Panggil	Lokasi	Status
art106739	null	Artikel		Gdg9-Lt3	Tersedia namun tidak untuk dipinjamkan - No Loan

Judul Seri: IEEE TRANSACTION ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING;Vol.28 No.4 November 2015
No. Panggil: -
Penerbit: : .,
Deskripsi Fisik: p. 521-527
Bahasa: English
ISBN/ISSN: -
Klasifikasi: -
Tipe Isi: -
Tipe Media: -
Tipe Pembawa: -
Edisi: -
Subjek: MEGASONIC
FINITE ELEMENT METHOD (FEM)
NANO-PARTICLE CLEANING
Info Detail Spesifik: -
Pernyataan Tanggungjawab: Hyunse Kim, Yanglae Lee, Euisu Lim

Tidak tersedia versi lain

Tidak Ada Data